Наноинденер / Тестер Царапин — это комплексная система для микро- и нано-механических испытаний, которая объединяет четыре функциональных модуля: наноиндентация, наноцарапины, микроиндентация и микроцарапины. Модульная конструкция позволяет проводить испытания на вдавливание, царапины и трение-износ на одном устройстве, от наноуровня до высоких нагрузок микромасштаба. Прибор предоставляет данные о твердости, модуле упругости, поведении ползучести, упруго-пластических свойствах, стойкости к разрушению, кривых напряжение-деформация, адгезии пленка-подложка, твердости к царапинам, коэффициенте трения и скорости износа, обеспечивая полное представление о микроскопических механических свойствах.
Применение
Измерение твердости и модуля упругости тонких пленок, покрытий и композитных материалов.
Оценка микроскопических механических характеристик металлов, керамики и стеклянных поверхностей.
Испытания на износ с использованием методов нано- и микроцарапин.
Анализ поверхностных характеристик MEMS-устройств и микроэлектронных материалов.
Исследование адгезии и сцепления пленка-подложка функциональных покрытий.
Поддержка разработки материалов и контроля качества в промышленных и исследовательских лабораториях.
Стандарты
ISO 14577-1/2/3: Испытания нанотвердости и модуля упругости металлических и неметаллических материалов
ASTM E2546: Калибровка микро- и наноинденционных приборов
ISO 20502: Испытания наноцарапин
ISO 1518: Испытания царапин покрытий
ASTM D7027, D1624, D7187, C171: Испытания царапин покрытий и пластмасс
Технические характеристики
| Модуль | Параметр | Спецификация |
|---|---|---|
| Наноинденер | Макс. нагрузка | 80 мН / 400 мН / 1800 мН / 4800 мН |
| Мин. нагрузка | 0,1 мН | |
| Разрешение нагрузки | 3 нН | |
| Глубина проникновения | 250 μм / 1 мм | |
| Разрешение перемещения | 0,0003 нм | |
| Скорость загрузки | 0,04–12000 мН/мин | |
| Наноцарапины | Макс. сила царапины | 80 мН / 400 мН / 1800 мН / 4800 мН |
| Скорость царапины | 0,05–600 мм/мин | |
| Макс. сила трения | 400 мН / 1800 мН | |
| Микроинденер | Макс. нагрузка | 40 N / 200 N |
| Мин. нагрузка | 2 мН / 10 мН | |
| Разрешение глубины | 0,01 нм | |
| Глубина проникновения | 1 мм | |
| Микроцарапины | Макс. нагрузка | 40 N / 200 N |
| Макс. длина царапины | 50 мм | |
| Макс. сила трения | 20 N / 200 N | |
| Прецизионная позиционная платформа | Диапазон XY | 100 мм × 50 мм |
| Диапазон Z | 150 мм | |
| Оптический металлографический микроскоп | Увеличение | 5X, 10X, 20X, 50X, 1000X (общее 400X–8000X) |
| Атомно-силовой микроскоп (AFM) | Диапазон сканирования | 100 μм × 100 μм × 12 μм |
| Разрешение XY | 0,1 нм | |
| Разрешение Z | 0,02 нм | |
| Общие характеристики | Термический дрейф | <0,05 нм/с (компенсированный <1 нм) |
| Точность позиционирования | ≤250 нм (шкала) | |
| Макс. глубина вдавливания | 1 мм | |
| Макс. сила трения | 400 N | |
| Питание | AC 220V / 50Hz |
Особенности
Модульная интегрированная конструкция: объединяет нано- и микроиндентацию, царапины и трение-износ в одном приборе.
Соответствие международным стандартам: тесты вдавливания соответствуют ISO 14577 и ASTM E2546, тесты царапин — ISO 20502, ISO 1518, ASTM D7027 и др.
Высокоточная система нагрузки: замкнутый пьезоэлектрический привод обеспечивает точный и стабильный контроль нагрузки.
Контроль перемещений на нанометровом уровне: глубина контролируется в реальном времени емкостным датчиком с разрешением 0,0003 нм.
Высокоточная позиционная платформа: XY-стадия на основе шкалы обеспечивает повторяемость экспериментов.
Полевая визуализация царапин: оптическое изображение во время наноцарапин облегчает анализ.
Быстрое картирование вдавливаний и царапин: 100 точек можно пройти за 5–12 минут.
Запатентованная технология: калибровка алмазного наконечника обеспечивает точные и надежные измерения.
